高效電池智造裝備
擴散/氧化/退火上下料機
產(chan)品特點
最高(gao)產能可(ke)達到16000pcs/h
可根據客戶需(xu)求進行配置(zhi)
特制精(jing)密(mi)陶瓷吸盤,陶瓷頂齒(chi)(chi)，陶瓷側齒(chi)(chi)，減少硅片(pian)劃傷，保證設備的穩(wen)定性
技術參數 | |
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| 技術參數 | 相關參數 |
| 產能 | 8000/11000/16000 pcs/h |
| 石英舟規格 | 1000/1200/1600槽 ，節距2.38mm |
| 硅片尺寸 | 166mm-210mm |
| 適用花籃 | 100 cassette |
| 碎片率 | ≤0.03% |
| 開機率 | ≥98% |
| 耗氣量 | 1000L/min |
| 具體參數如有變動，本公司不另行通知！ | |
