高效電池智造裝備
ALD上下料機
產品特(te)點
最(zui)高產能可(ke)達(da)到16000pcs/h
可根(gen)據客戶需求(qiu)進行配置
特制精密(mi)陶瓷吸盤(pan),陶瓷頂(ding)齒，陶瓷側齒，減少硅片(pian)劃傷，保證設備(bei)的穩定性
| ALD上下料機技術參數 | |
|---|---|
| 技術參數 | 相關參數 |
| 產能 | 8000/11000/16000 pcs/h |
| 金屬舟規格 | 200槽 ，節距2.38mm |
| 硅片尺寸 | 166mm-210mm |
| 適用花籃 | 100 casstte |
| 碎片率 | ≤0.03% |
| 開機率 | ≥98% |
| 耗氣量 | 1000L/min |
| 具體參數如有變動，本公司不另行通知！ | |
